電子顯微鏡的分類介紹與保養
電子顯微鏡的分類介紹與保養
1. 透射電子顯微鏡 (TEM)
樣品必須制成厚度為100-2000?那可以穿透電子。成像方法類似于光學生物顯微鏡,不同之處在于使用電子鏡頭代替玻璃鏡頭。放大的電子圖像顯示在熒光屏上。圖1 透射電子顯微鏡光路示意圖是其光路示意圖。 TEM的分辨能力可達3?左右。特殊情況下可以更高。
(1) 超高壓電子顯微鏡(HVEM)是TEM的一種,但常用的TEM加速電壓為100 kV。它只能穿透幾千埃厚的樣品。電子的穿透力隨著 b2 = v2/c2(電子速度與光速之比)而增加。由于相對論效應,b2 在 500 kV 以上增加非常緩慢。目前商用的電子顯微鏡有200 kV、300 kV和1000 kV。法國和日本有3000kV專用電子顯微鏡。 HVEM 除加速管外與一般 TEM 相似,但尺寸放大。 1000 kV 電子顯微鏡有兩層。尺寸放大后,樣品周圍空間擴大,方便放置各種處理樣品的附件,如拉伸、加熱、冷卻、化學反應等輔助部件,并可與樣品組合傾斜的樣品臺;也可用于動態觀察,用電視記錄樣品處理過程中的變化。高能電子會在樣品中引起輻射損傷,這給研究材料輻射損傷的微觀機制帶來了的便利。
(2)高分辨電子顯微鏡(HREM)提高加速電壓,縮短電子波長,提高分辨能力。由于技術難度高,特高壓電子顯微鏡在1970年代初期主要是為了提高穿透率。從 1970 年代末到 80 年代初,技術進步帶來了 200 kV 和 300 kV 的高分辨率商用電子顯微鏡以及 500 kV、600 kV 和 1000 kV 的單獨 HREM。分辨力可達2?左右。會達到1.5嗎?很快。由于生物分子容易受到輻射損傷,目前HREM主要用于觀察無機材料中原子的排列。
2. 掃描電子顯微鏡 (SEM)
主要用于直接觀察固體表面的形貌。其原理如圖2所示。掃描電鏡原理圖。先用電子透鏡把一個電子束光斑縮小到幾十埃,再用偏轉系統使電子束射在樣品表面進行光柵掃描。電子束激發所到之處的二次電子,經探測器采集后成為信號,調制同步掃描顯像管的亮度,顯示圖像。樣品表面的凹凸不平導致一些部分面向二次電子檢測器,而另一些部分則背對著檢測器。從面向探測器的部分發射的二次電子被大量收集并顯得明亮,反之則顯得暗,從而產生正像和三維圖像。圖像的放大倍數是顯像管掃描幅度與樣品上表面電子束掃描幅度的比值。 SEM 的分辨能力略大于電子束光斑的直徑。目前,掃描電鏡的分辨能力可以達到60?。
3. 掃描透射電子顯微鏡 (STEM)
成像方式與掃描電鏡類似,但不是接收二次電子,而是接收透射電子(包括一些小角度散射電子)。樣品也必須是薄膜,STEM 的分辨能力相當于電子束光斑的直徑。 STEM專用高亮度場發射電子槍(要求10-10托超高真空)。分辨力可達3?。使用此 STEM,已觀察到輕元素在薄膜上支持單個重原子。其微小的電子束斑可用于晶體結構分析(通過電子衍射)和成分分析(通過電子衍射)和成分分析(通過標記X射線或電子能量的電子束激發)對實際工作尤為重要。損失)。光譜)。目前的商用TEM可以配備STEM配件,但由于沒有高亮度場發射槍,束斑只能降低到幾十埃。可在100Ω左右的范圍內進行結構和成分分析。能邊觀察顯微圖像邊對其任何微小部分進行上述分析的電子顯微鏡,稱為“分析電子顯微鏡"。
透射電子顯微鏡保養:
透射電子顯微鏡日常維護注意事項
1、經常開機使用,以便隨時掌握儀器的工作情況,并隨時注意觀察圖像、光、聲、真空、氣壓和功率的變化供應應及時調整并記錄。經過很長一段時間,你肯定會積累很多經驗。
2.注意空氣濕度,防止鼠標濺出,電壓要穩定,氣體要清潔干燥,防止小樣品掉入,特別是細小顆粒、粉末,防止碰撞
3、監測電子槍中的氟利昂是否減少,監測機械泵中的油是否已經降到水平線以下,空壓機經常放空,循環水裝置中的水要定期更換,室內濕度保持在40~70%,溫度保持在40~70%。15~25度。對于電子顯微鏡的維修,一要技術水平高,一要有興趣,二要精通,主要是實用技能,靈活運用高超的綜合知識。同時,它必須依靠經驗的積累,也就是學習電子學。那些學習的人具有管理電子顯微鏡的實際能力。
4、回轉泵所用真空油有條件每年更換一次。臟油的速度主要與實驗室的清潔度和濕度有關。電子顯微鏡即使在不使用時也會開啟。它每天抽真空,電路每隔一兩天通電一次。學校假期每周開放兩天,尤其是在夏季,當暑假結束時學校會放假。
上一篇:分析透射電子顯微鏡的應用領域
下一篇:電子顯微鏡和數碼顯微鏡的區別